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微机械结构式集成气体传感器阵列及其信号处理技术研究

2001年 基础理论
  • 成果简介
本项目是国家自然科学基金高技术探索项目，批准号69682006，起止年限为1997年1月至1999年12月，项目经费11万元。
功耗大、选择性差、动态响应慢是分立式气体传感长期未能解决的问题。采用集成气体传感器技术以后，功耗和动态响应速度大幅度提高，但选择性依然是个问题。另一方面，实用中对检测混合气体的要求日益增加，为适应这两方面的要求，研究集成气体传感器阵列及其信号处...
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