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基于MEMS的超微压力传感器设计与制造工艺

2008年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
测控技术的发展，要求压力传感器量程越来越小，分辨率越来越高，使得超微压压力传感器在科学实验、工业自动化控制、空气动力学、计量学等领域越来越重要。因此毫米级外形尺寸、微米级加工精度的高灵敏度超微压压力传感器，有着极大的应用领域和市场前景。
本项目主要面向超低微压压力传感器芯片设计，研制出梁/膜/岛复合结构力学弹性元件，解决了低量程高灵敏度与超薄梁膜大挠变引起的非线性之间的...
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