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高纯砷烷(6N)和高纯磷烷(6N)纯化技术

2006年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
砷烷、磷烷的需求量目前全球达到上百吨,主要分布在亚洲、美国、欧洲,并以每年5%的增长速度递增。集成电路及芯片厂家主要有上广电、华光光电、汇能科技、光谱光电以及信息产业部所属的18所、46所等,目前国内使用的高纯砷烷、磷烷主要依赖进口,每年进口高纯砷烷、磷烷达数十吨。该项目生产的高纯砷烷、磷烷具有产品质量高、价格合理等优势,经国内的企业和研究单位使用,证明产品质量达到国外同类产品质量,为进一...
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