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连熔法生产集成电路用厚壁大口径透明石英玻璃管

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
厚壁大口径透明石英玻璃管是集成电路制造的重要新材料，并是延升加工扩散管、大型扩散钟罩、氧化管、CVD管、石英舟、法兰、石英清洗槽、方缸、石英炉门、舟车、悬壁套管、石英分馏塔、球形接头、点火装置、耐高温涂层、石英玻璃仪器器皿等的重要材料，又是在扩管机上扩成更大管径或缩成更厚壁厚石英管的原材料。其技术原理是在生产灯用小口径石英管生产线基础上，经过技术、工艺、设备的研究创新改造而来，它采用县内优...
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