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利用掩蔽生长及选择刻蚀技术制备二维纳米阵列

2008年 基础理论
  • 成果简介
　　“利用掩蔽生长及选择刻蚀技术制备二维纳米阵列”是四平市科委2005年度科技发展计划项目，合同编号四平合字第2005-002号。
　　该项目主要是研究用掩蔽生长及选择刻蚀技术序阵列制备二维纳米阵列，并对自装纳米小球阵列的形成机制进行了探讨。其技术原理是采用两相法、“晶种法”和单相法，制备出了不同尺寸的金纳米粒子。然后，利用纳米球刻蚀技术在硅衬底上制备纳米结构。再利用掩蔽刻蚀技术制备出...
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