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大直径重掺锑硅单晶中void微缺陷控制机理的研究

2008年 基础理论
  • 成果简介
本项目利用化学腐蚀、金相显微镜、原子力显微镜、扫描电子显微镜及透射电子显微镜等检测手段，研究了大直径重掺锑硅单晶中原生微缺陷的微观形貌、分布及掺杂剂对其密度的影响，探讨了重掺锑硅单晶中void微缺陷的成因，实验结果发现，由于Sb的大量掺入, 重掺Sb原生硅片中的void微缺陷的密度要远远高于轻掺B硅片内的void微缺陷密度，并分析了void的控制机理，利用不同的快速退火工艺，研究了重掺锑硅...
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