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化学气相沉积金刚石（CVDD）厚膜完整性研究

2008年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
CVD金刚石具有许多优异的力学、电学、热学、声学和光学性质，在当今高技术领域具有十分广阔的应用前景；国际上已在光学、电子学领域和机械加工等领域开发出相应的产品。我们先后承担了国家“863”项目“金刚石膜设备研制及工艺研究”和“大面积高质量金刚石膜的制备、加工及应用”，经过不断的努力，在化学气相沉积金刚石厚膜方面,取得了不错的成绩。直流等离子体喷射沉积金刚石膜，虽然沉积速率快质量高，但是因为...
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