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工业型脉冲直流等离子体化学气相沉积工模具表面强化设备

2002年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
属国家八六三计划新材料领域资助项目，以西安交大为项目完成单位，联合北京航天航空大学自主研制出高技术的工业生产气相沉积设备，真空炉体选用钟罩式结构，利用自重密封，气密性好，真空极限达1帕，炉体内安装加热系统，实现内热式而非马弗式加热，此为我们首创的设计，显著提高了加热的效率，炉体设计温度700度，上下温差不超过10度，阴极引入电极采用小间隙的双屏云母构成，由此为处理工件通入高压脉冲直流并对其...
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