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纳米氧化硅高阻隔薄膜

2008年

应用技术

成果简介

采用新型等离子体源，开展大面积、高速连续等离子体化学气相沉积，制备高阻隔SiOx层涂覆于金属材料、半导体器件、普通塑料瓶包装、纸包装材料（如PET，PA，PP，PE，BOPP和包装用纸等）表面，通过无机氧化硅薄膜高致密结构、纳米薄膜的高韧性、和基体材料的高附着力，达到对气体水分敏感的电子产品、药品、食品和化妆品，新鲜肉类蔬菜等保值保鲜。本技术的重点是采用新型磁化等离子体，高速制备氧化硅薄...

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