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光激活纳米氧化物半导体气敏传感器

2004年 应用技术
  • 成果简介
由光激发器、微结构气敏芯片和定位台组成,其中光激发器由照明光源、会聚镜、单色仪和聚焦透镜组构成,以提供频率和强度可调的激发光束,照明光源发射出的光束经会聚镜聚焦,再通过单色仪成为频率可调的单色光,经过聚焦透镜组会聚照射在微结构气敏芯片上,微结构气敏芯片由硅基底、叉形电极和覆盖在叉形电极上的半导体氧化物敏感膜构成,并固定在定位台上。通过调节光激发器出射光束的频率和强度,聚焦照射在微结构气敏芯...
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