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集成电路光刻设备的磁悬浮精密工件台

2004年 应用技术
  • 成果简介
集成电路光刻设备的磁悬浮精密工件台，采用相互独立的和基于闭环控制的电磁力和洛仑兹电机结构，主要包括由基座框架、工作台、电磁铁衔铁及连接件组成的机械部分，悬浮和驱动工作台的四对电磁铁，驱动平面运动的洛仑兹电机以及与电磁铁相对应的四个电容传感器。电磁力用于抵消重力，同时高精度地驱动一个直线自由度和两个转动自由度的微位移，洛仑兹电机高精度地驱动其余的、位于同一平面的两个直线自由度的大行程位移和一...
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