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斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列

2004年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明涉及一种具有斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列及制造方法。结构特征是支撑膜与框体成45度角，周围被气氛介质包围，一端固支，另一端与基体两点相连。他可分为分立型和单腐蚀孔型两种，前者是独立的腐蚀孔结构，腐蚀孔之间由硅衬底相隔；后者为共用一个腐蚀孔结构，悬梁间由腐蚀孔隔开。制造特征是先沉积Si_3N_4层，在沉积SiO_2层，在沉积多晶硅层，离子掺杂注入，光刻，腐蚀，等离子刻蚀并...
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