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具有多腔结构的窄带滤光片列阵

2008年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种具有多腔结构的窄带滤光片列阵，它是利用多个F-P结构膜系来形成多腔，通过组合镀膜或组合刻蚀方法来形成谐振腔层列阵，以达到控制每个微型窄带滤光片的带通峰位，从而实现不同带通峰位窄带滤光片在同一块基片上集成的目的。这种结构适用于各个波段多腔窄带滤光片列阵。这种结构的优点是滤光片的带通矩形度好，易于多通带集成，可以更多地获取各光谱通带内的信号、同时更好地抑制掉通带外的噪声，大大提...
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