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微波法生长高质量金刚石膜及产业化研究

2002年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
金刚石膜具有优异的力学、电学、光学、声学和热学性质，在自然界还很难找到这样集如此多优异性能于一身的材料，它的人工合成是当今新材料领域的研究热点。
本成果是在承担武汉市风险投入科技项目“微波法生长高质量金刚石膜及产业化研究”的过程中，利用微波等离子体的一系列优点，将含碳气体和氢气组成的低压混合气体，分解离化后产生由含碳基团和原子氢等组成的等离子体，促使构成金刚石的金刚石碳...
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