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微结构光学综合测试工作站及应用研究

2008年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本课题的主要研究目标是针对微结构几何量和机械量的光学测试技术及系统进行研究，主要研究成果包括：研究了计算机微视觉技术在MEMS平面结构的几何量参数、平面内周期运动参数的全视场测试中应用，几何尺寸的测量分辨率达到亚微米，运动测量重复性优于20nm；研究了显微干涉技术在MEMS结构的三维几何量参数、周期运动参数的全视场测试中的应用，离面高度测量分辨率达到0.1nm，运动测量重复性优于5nm；研...
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