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新型除静电吸尘超净工作台

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
新型除静电吸尘超净工作台采用多级过滤保护，有效提高末端H14级别高效过滤器使用寿命。采用栅网均流装置，保证送风断面风速均匀，使风速不均匀度小于15%；在工作台面设置洁净压缩空气吹扫设备，同时在工作台面设置自动负压吸尘口，及时消除工作区内的残存大颗粒物。在工作区外侧设有高速气流(8m/s)空气幕，维持良好的气流流型。采用静电离子棒安装于高效过滤器下游，有效去除空气和管道及过滤器摩擦产生的静电...
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