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带电粒子束源系列关键技术及其应用

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
（1） 首次提出了建立了离子源设计的专家系统，用于解决离子源设计类型多、参数多且随机性大，以及设计复杂的难题；
（2） 在离子源的计算中，首次提出泊松方程自洽解的快速计算方法和加速全局优化法-鲍威尔法和模拟退火法的组合法，解决了优化设计的计算速度问题，首次实现了离子源引出系统的全局优化设计；
（3） 首次采用凸阴极溅射方式制备了一种金属离子源；
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