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中心对称连续微结构衍射光学元件的制作技术

2008年 应用技术
  • 成果简介
　　衍射光学元件应用于光学系统有助于减小系统体积、减轻重量、简化光学系统以及提高成像质量。长期以来，由于制作技术不成熟，连续衍射微结构在国内无法制作出来，导致衍射光学元件无法普及应用。到本项目技术研究完成前，国内主要应用二元光学元件，没有制作高性能连续衍射元件的技术。
　　本项目采用极坐标激光直写法和反应离子束刻蚀法相结合的技术对中心对称连续微结构衍射光学元件的制作技术开展了研究。首先...
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