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VO2热致相变薄膜制备技术

2008年

应用技术

成果简介

　　VO2薄膜在68℃左右会发生半导体－金属相变，伴随着相变的发生，其物理性能发生较大变化，在很多领域有着潜在的应用。但由于VO2薄膜制备技术的限制，往往制备的薄膜为多种钒氧化物的混合相，且制备工艺也不稳定。通过本项目的研究，成功解决了VO2薄膜制备技术的两大难题：相结构的控制和工艺稳定性，并采用不同方法分别研究适合大面积应用的VO2薄膜制备技术和小面积、高性能的VO2薄膜制备技术。本项目创新的采...

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