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光热调制激光波长的抗干扰纳米干涉测量技术的研究

2000年 应用技术
  • 成果简介
　　微小物体的微位移、微振动与其表面形貌的纳米精度检测在微光电机械系统、信息技术、环境监测等领域有着广泛的应用前景。本项目研究了既可检测物体的表面形貌，又可测量物体的微小静止位移、随时间缓慢或迅速变化的位移与振动物体运动状态的正弦相位调制半导体激光干涉测量技术。在有干扰的情况下，物体的表面形貌、位移、振动振幅的测量精度均达到了1纳米。并在此基础上研发成功纳米精度微位移和微振动测量仪。为拓展正弦相位...
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