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低压和中高压电容器阳极铝箔的扩面侵蚀方法

2004年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
随着微电子工业的发展，迫切要求减小电子元件体积，铝电解电容器小型化的关键是增大铝电极的真实表面积，侵蚀扩面技术获得蚀孔密度高达10^6～10^(10)/cm^2，能有效使铝电解电容器更加微型化和低成本，电解侵蚀技术和结晶腐蚀机理是制约铝电解电容器小型化的关键。
我国在铝箔侵蚀方面的理论研究和工艺开发与发达国家比较有较大差距。由于铝箔电化学侵蚀工艺属于电子材料的高新技术和...
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