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图像传感器细分纳米分辨率光栅测量方法

2008年 应用技术
  • 成果简介
本项目公开了一种图像传感器细分纳米分辨率光栅测量方法。光栅移动的光信息经光学显微系统放大，由物镜像平面处面阵图像传感器接收，获得与联结的计算机显示屏上清晰光栅条纹图像；选取扫描中心，沿其所在列或行扫描判读和细分；将不同位置、时间间隔的条纹图像比较，即能得到位移量，由计算机实时输出。
采用面阵图像传感器接收和细分，充分发挥了图像传感器二维象素高分辨率能力和可按时序串行输出...
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