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有机源制备的氢化非晶碳膜的新颖发光行为

2001年

应用技术

成果简介

　利用有机碳源（二甲苯），采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统制备了一系列氢化非晶碳（a-C:H)薄膜样品。与利用甲烷（CH_4）制备的a-C:H不同，该样品的光致发光峰位于蓝绿光范围并且呈现多峰结构，而不是表现为一个较宽的单峰。同时样品发光峰的特征随着制备过程中功率不同而变化。认为：a-C:H薄膜中的芳香环结构的引入产生了新的发光中心，导致PL谱中新峰位的出现。...

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