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利用水银的硅微加速度传感器研究

2005年 应用技术
  • 成果简介
本项目采用一滴水银作为对加速度敏感的液体弹性电极，与固定电极构成电容式加速度计，主要应用于高过载、低量程加速度的测量。从理论上完成了传感器结构的数学建模，仿真；研究了水银与Al_2O_3等材料的各项接触特性；研制了传感器专用封装设备，完善了加工工艺；完成了传感器专用电容测试电路；研制了传感器样机并进行了实验测试。该传感器具有体积小，重量轻，加工简单，成本低廉，高灵敏度（分辨力0.0001g...
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