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保形性等离子体基离子注入数值模拟及实验研究

2004年 应用技术
  • 成果简介
本项目从数值模拟和试验验证两个方面，研究了等离子体基离子注入（PBⅡ-Plasma based ion implantation）复杂几何形状工件的保形性注入规律及其影响因素。利用反应器级数值模型系统，结合系统的工艺实验，从理论上和实践上研究了几种典型形状工件的鞘层扩展特性和表面注入层均匀性问题。研究结果表明，工件的形状、尺寸以及所采用的脉冲波形会显著影响鞘层的结构和扩展方式，并决定入射离...
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