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硅衬底微波集成电路舆线与无源元件的电特性研究

2002年 应用技术
  • 成果简介
本项目利用三维时域有限差分法，对带聚酰亚胺绝缘层的硅衬底微波电路传输线进行了全波仿真，得到了频变分布电特性参数，总结和解析了聚酰亚胺绝缘层厚度及信号导体间距对传输线电特性影响的一些规律，并对传输线的电特性参数进行了实验测试。建立了硅衬底CMOS片上螺旋电感的等效传输线理论模型和实验数据拟合模型，得到了多层电感的第一个解析公式。对螺旋电感的品质因子进行了优化设计，在保持面积不变的前提下使品质...
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