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分子组装薄膜及其对微机电系统的润滑研究

2003年 应用技术
  • 成果简介
研究了分子组装有机润滑薄膜对微机电系统的粘着、磨损、运行寿命的影响，探讨了微系统用材料的表面离子束和化学氧化处理及组装薄膜分子间的化学交联对提高微系统抗磨损性能和使用寿命的影响。揭示了影响微系统润滑防护的多种因素，提出微机电系统在多种条件下的润滑失效机理。研究结果将为解决相关分子尺度的润滑防护问题提供理论依据和技术保障。...
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