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用Q3D谱仪作材料的深度微观谱学分析

2001年 应用技术
  • 成果简介
本项目建立了用Q3D谱仪和焦面探测器对材料表面和内部的成分和杂质进行高深度分辨弹性反冲探测技术。用HI-13串列加速器提供的重离子束分析材料中的轻元素的浓度及其深度分布。对氢．碳的分析，深度分辨达到纳米量级。本项目还建立了用DE（气体）-E（半导体）望远镜探测器进行定量分析的弹性反冲探测技术。实现了对从轻至中重元素同时地定量分析。以上技术在国内属首家。我们应用该技术对国内外正在研制的多种薄...
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