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长程面形仪

2002年

应用技术

初期阶段

成果简介

长程面形仪主要由半导体激光器、光纤、位相板、反射镜、分光镜、五角棱镜、傅立叶透镜、面阵CCD和参考反射镜组成，半导体激光器发出的激光束经光纤准直投入到一块位相板上，其衍射光束由反射镜折转形成基准光束被分光镜分为两路：一路经五角棱镜折转90度投射至被测表面，被反射回来的探测光束经五角棱镜、分光镜、反射镜投射至傅立叶变换透镜，从而在位于FT透镜后焦面的面阵CCD上形成测量光斑，另一路基准光束经...

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