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多层薄膜固相反应与Co-Ni系硅化物薄膜外延及应用研究

2003年

应用技术

成果简介

本项目系统研究了Co-Ni系金属硅化物的形成规律、薄膜特性、与杂质互作用以及自对准接触界面特性。实现了Ti/a-SiGe、C两种中间层诱导固相外延（IMSPE）生长CoSi2薄膜，进一步揭示了IMSPE的机理。通过对多种多层薄膜固相反应对比研究，证明了IMSPE CoSi2具有热稳定性好、界面平整等优良特性，建立的理论模型解释了CoSi2表面、界面粗糙化的强关联性。首次揭示了Pd合金化对N...

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