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双绝缘埋层绝缘体上硅基二维光子晶体波导及制备方法

2002年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明涉及具有不同于SiO_2的绝缘埋层的二维光子晶体波导及制备方法。更确切地说，涉及一种采用改进智能剥离（Smart-Cut）技术先制备具有双绝缘埋层的绝缘埋层上的硅（SOI）基底；然后结合传统的微细加工技术制备二维光子晶体波导，属于光电子技术领域。
光集成电路的集成度远远达不到微电子电路的集成度，这主要是因为传统介质波导的尺寸只能小到几毫米，并且转弯角度不能太大。传...
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