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环氧树脂微结构器件的制备方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　项目简介：采用硅橡胶(PDMS)弹性材料作为微复制模具，利用其可逆及重复变形而不发生永久性破坏的性能高保真地复制微结构。首先采用紫外光刻、硅深反应离子刻蚀技术或电铸工艺将掩模板上微结构图案转移到光刻胶基片、硅或金属上，获得微复制模板，再将硅橡胶与交联剂按比例混合，利用微复制技术将模板上的微结构图案复制到硅橡胶片上，然后将环氧树脂预聚体与交联剂混合后浇注到硅橡胶模具上，完成环氧树脂微结构的复制。...
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