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高量子效率PTCDA／P-Si(有机／无机)异质结光电探测器

2007年

应用技术

成果简介

利用具有高热稳定特性的有机半导体材料PTCDA(苝四甲酸二酐)在硅单晶衬底上制造出具有肖特基势垒特性的异质结光电探测器，其工艺流程简单，不需要氧化、扩散、光刻等半导体平面工艺，使生产成本大幅下降，(可降低约50～60﹪)，而且成品率可达95﹪以上。该（有机/无机)异质结光电探测器对可见光至近红外区的光具有高量子效率的光电转换及宽带响应。试验研究表明，这种新型光电探测器和由半导体平面工艺制作...

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