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纳米压印光刻机

2004年 应用技术
  • 成果简介
本实用新型一种压印光刻机，涉及微纳加工技术领域，具体地说，涉及用于纳米压印光刻的设备。该机主要由螺栓，上层板，中间板，传动螺栓，传动导向杆，压块和底层板组成，用螺栓、螺母连接固定。本设备结构新颖、简单，易于加工，并采用压块、导向杆和底层板分离的结构设计，不仅实现了模具和硅片的自调平衡、达到很高的加工进度，而且降低了底层板，中间板与传动导向杆之间的位置精度要求，降低了制造成本。因此，本实用新...
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