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微电力机械系统电可调谐光学滤波器芯片制备方法

2005年 应用技术
  • 成果简介
一种微电力机械系统(MEMS)电可调谐光学滤波器芯片的制备方法，包括步骤：
1、在硅基片表面上光刻出下电极图形；
2、蒸发铬/金薄膜；
3、超声剥离；
4、淀积二氧化硅牺牲层；
5、光刻腐蚀隔离槽图形；
6、蒸发铬作为掩蔽层；
7、超声剥离；
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