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单层双材料微悬臂梁热隔离焦平面阵列的制作方法

2005年 应用技术
  • 成果简介
一种单层双材料微悬臂梁热隔离焦平面阵列的制作方法，包括：
1、在单晶硅基片上双面生长氮化硅薄膜；
2、用加热的氢氧化钾溶液各向异性腐蚀氮化硅；
3、在正面甩正性光刻胶；
4、在背面甩正性光刻胶，光学光刻背面窗口图形；
5、各向异性刻蚀有光刻图形面；
6、去除光刻胶；
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