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一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法

2005年 应用技术
  • 成果简介
一种硅基有机发光微显示(OLED)金属阳极及阴极隔离柱的制备方法，属于微电子器件制备技术领域，其工艺步骤如下：
1、在硅基片表面上光刻出金属阳极图形；
2、在光刻出图形的硅片表面用电子束蒸发出铬/银薄膜；
3、超声剥离；
4、反转光刻阴极隔离柱图形，完成制作。
OLED具有可实现柔软显示、色...
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