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光通信用微光机电关键技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本成果利用微光机电技术制作光通信关键器件，通过创新的设计和工艺，提高性能并降低成本，为光通信器件的制作提供新的技术途径。主要内容：1、采用各向异性腐蚀技术制作光波导微镜，解决光波导不能大角度拐弯的问题，从而大幅度减少器件面积。采用与此相关的两项发明专利技术，研制出了阵列波导光栅等光器件。2、采用硅／玻璃固相键合技术在玻璃上制作硅光波导器件。由此，可以利用玻璃衬底直接做出下限制层；由于键合工艺温...
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