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10^(-10)Pa超高真空实验室

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　10^(-10)Pa超高真空实验室有目前国际第一流的真空获得和测量设备，可以进行极低材料出气率测试、宽量程规管比对、各类超高真空泵抽速及极限真空测试等。
　　超高真空实验室有涡轮分子泵、溅射离子泵、钛升华泵抽速及极限真空测试系统，极低材料出气率测试系统和宽量程规管比对系统。这些测试系统均为全无油超高真空系统，系统极限真空度在10^(-9)～10^(-10)Pa范围。总压力测量采用...
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