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Nd:KGW激光掩膜微加工设备

2007年

应用技术

成果简介

　　技术（产品）用途介绍：该设备是以Nd:KGW激光器为光源的掩膜微加工技术，为国际创新技术。可广泛用于微电子器件、介入医疗器械、微机械、微标识、特殊异型孔加工、金刚石等超硬材料加工等高新技术领域。
　　产品性能：独创的快速掩膜制备技术，可在三分钟内完成掩膜制备。
　　主要技术指标：1、波长：1064nm；2、重复频率：≥100Hz；3、脉宽：≤8ns；4、模式：TEM00...

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