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长波长垂直腔面发射激光器的结构和制作方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
　　一种长波长垂直腔面发射激光器的结构，包括：一衬底，该衬底为N型InP衬底；一缓冲层制作在衬底上；一下布拉格反射镜制作在缓冲层上，该下布拉格反射镜用于反射激光腔内的光来形成激光振荡；一有源区，该有源区制作在下布拉格反射镜上，用来形成光增益；一电极接触层，该电极接触层制作在有源区上的两侧，用来形成良好的欧姆接触；一上布拉格反射镜，该上布拉格反射镜制作在有源区上的中间位置，同时形成出光窗口，并用于反...
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