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利用量子阱混杂作模斑转换分布反馈布拉格激光器的方法

2005年 应用技术
  • 成果简介
　　利用量子阱混杂作模斑转换分布反馈布拉格激光器的方法，包括以下步骤：在衬底上生长n型磷化铟缓冲层等；用二氧化硅把分布反馈布拉格－激光器掩蔽，在模斑转换器区的本征铟磷注入缓冲层产生点缺陷；腐蚀掉分布反馈布拉格－激光器的二氧化硅保护层；对晶片加热、保温、退火；腐蚀二氧化硅保护层；在整个晶片上面光栅；腐蚀掉本征铟磷注入缓冲层；刻出模斑转换器上、下脊形波导结构；清洗晶片，第二次生长p－铟磷层、铟镓砷磷刻...
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