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光子晶体波导分布反馈激光器及制作方法

2005年 应用技术
  • 成果简介
　　一种平面型光子晶体波导分布反馈激光器，其中包括：一衬底；一过渡层用金属有机化学气相淀积方法生长在衬底上；一InGaAsP下势垒层生长在过渡层上；一多量子阱有源区生长在InGaAsP下势垒层上；一InGaAsP上势垒层生长在多量子阱有源区上；该下势垒层、量子阱有源区、上势垒层三层构成激光器的波导区；一一维λ／4相移光栅用电子束曝光和反应离子刻蚀的方法刻蚀在InGaAsP上势垒层上；一InP包层生...
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