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一种利用激光对准晶片晶向的方法及装置

2005年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明涉及一种利用激光对准晶片晶向的方法及装置。本发明利用一束激光通过一小孔光阑入射到晶片的解理面上，调整晶片的方位，使得入射到该晶片解理面上的激光沿与入射方向相反的方向反射，反射激光从小孔光阑返回；按同样的方法调节好另一块晶片后，使其中一晶片缓慢平移到另一块晶片上，面对面靠紧，完成晶片晶向的对准。
　　本发明提供的利用激光对准晶片晶向的方法及装置结构简单，操作容易、快速，且对准精...
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