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半导体可饱和吸收镜及其制作方法

2005年 应用技术
  • 成果简介
一种半导体可饱和吸收镜,其特征在于,包括:一衬底;一缓冲层,该缓冲层制作在衬底上;一布拉格反射镜,该布拉格反射镜制作在缓冲层上,形成一高反射率的反射镜;一多量子阱,采用低温生长技术该量子阱制作在布拉格反射镜上,该多量子阱由多对单量子阱构成,每对单量子阱包括:下垒层、吸收区和上垒层,该多量子阱起光吸收和光生载流子弛豫的作用;一介质膜,该介质膜制作在多量子阱的吸收区上,通过调整介质膜的反射率来...
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