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一种双色量子阱红外探测器面阵的制作方法

2005年 应用技术
  • 成果简介
一种双色量子阱红外探测器面阵的制作方法，其中包括光栅的制作，包括光刻及刻蚀，根据实际情况可以选择不同的光栅形状，使用干法刻蚀或湿法腐蚀；在整个材料上沉积金属；上台面的光刻及刻蚀；在探测器2起作用的像素中，对探测器1进行侧向短路，该项又包括光刻、金属的沉积，面阵中响应波长不同的两个像素的排列，根据实际情况可以选择不同的方式；下台面的光刻及刻蚀；用带胶剥离的方法，使在探测器1起作用的像素中，探...
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