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磷化铟基量子级联半导体激光器材料的结构及生长方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
一种磷化铟基量子级联半导体激光器材料的生长方法,包括如下生长步骤:利用分子束外延技术首先在磷化铟衬底上分别生长铟镓砷和铟铝砷层,最终得到与衬底匹配的铟镓砷和铟铝砷层中In、Ga及In、Al的束流值;然后在磷化铟衬底上生长匹配的多层铟镓砷或铟铝砷的N型掺杂台阶,得到生长磷化铟基铟镓砷/铟铝砷量子级联激光器材料时各外延层所需的掺杂浓度对应的Si源炉温度;最后在磷化铟衬底上依次生长晶格匹配的下波...
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