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光纤定位槽、光斑转换器和光波导器件的一体化制作方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
一种光纤定位槽、光斑转换器和光波导器件的一体化制作方法，包括如下步骤：选用双面抛光的SOI基片，在SOI基片上沿斜线x1方向划片，将其分割成三部分；对其中的波导区进行端面抛光和氧化处理，将这三部分健合在同一硅片上；利用版图通过一次光刻将光纤定位槽、光斑转换器、和波导器件的图形同时形成在制作步骤一中加工好的衬底上；利用版图在波导区形成双层掩膜；采用低浓度氢氧化四甲基铵和少量过硫酸铵腐蚀出光纤...
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