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LIGA和UV-LIGA技术工艺标准化研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
  该成果开发了一种基于LIGA技术、准LIGA技术制作低摩擦系数复合材料MEMS模具的新工艺。与常规LIGA工艺、准LIGA工艺制作的MEMS模具相比,该工艺制作的MEMS模具摩擦系数低,使得脱模时模具与产品之间的摩擦减小,大大提高了模具的脱模性能,延长了模具的使用寿命。该工艺是在LIGA技术、准LIGA技术基础上,首次将低摩擦系数材料利用电铸的方法嵌入MEMS模具的主体材料中,解决了常规固体润...
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