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基于电容测量原理的平面电容传感器

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了一种基于电容测量原理的平面电容传感器。包括平面电容上极板与平面电容下极板；固定平面电容上极板和下极板其中的一个，移动另一个，根据上极板与下极板相对运动产生的电容量变化计算两者的相对位移。采用一个器件能同时实现X向与Y向的位移测量；从结构上对X向与Y向位移测量进行解耦，在测量方向上的电容量变化反映了位置的变化，而在非测量方向上的电容总量保持不变，不会对测量方向上的电容量变化产生影...
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